對XD系列真空(kong)泵的介紹

XD系列真空(kōng)泵 是指該泵可(ke)在常壓下啓(qi)動抽氣，并可(ke)将抽吸的氣(qì)⛱️體直接排放(fàng)到大氣中。泵(bèng)腔内無油或(huo)其他工作介(jie)質，壓力等于(yu)或接近⛷️油封(feng)真空泵的機(jī)械真空泵。

截至(zhì) 2013年，真空行業(yè)使用的機械(xie)真空泵大多(duō)采用油、水或(huò)其他聚合物(wu)等流體作爲(wèi)泵的工作介(jiè)質，在泵内具(jù)有冷卻、密封(fēng)、潤滑等多重(zhong)功能。随着科(kē)學技術的發(fa)展和真空應(yīng)用領域的擴(kuo)大，原💞有的機(jī)械真空泵及(ji)其排氣系統(tong)有兩個迫切(qiē)需要💁解決的(de)問題：一是泵(beng)的工作介質(zhi)倒流，污染被(bèi)🚶抽容器，而這(zhè)種回流在很(hen)多情況下會(hui)影響産品的(de)質量和數量(liàng)，增加設備的(de)㊙️維護成本。其(qí)次，真空泵中(zhong)的介質由于(yú)某些過程中(zhong)的🥰反應物而(er)嚴重變質，使(shi)泵無法正常(chang)工🔞作。

對于(yu)普通的無油(you)真空系統，雖(sui)然可以使用(yong)油封真空泵(beng)和冷阱或吸(xī)附阱等附件(jian)來防止回流(liú)，但不能完全(quan)解決問題⭕，使(shǐ)系統複雜。使(shi)用合适類型(xíng)的 XD系列真空泵(bèng) 可(ke)以達到預期(qī)的效果。

XD系列真(zhen)空泵 應用廣泛(fan)，主要表現在(zài)以下幾個方(fāng)面：

1、低壓(yā)化學氣相沉(chén)積多晶矽制(zhì)備工藝；

2、半導體蝕刻(ke)工藝。 XD系列真空(kong)泵 在這些生産(chǎn)過程中經常(chang)使用或産生(shēng)腐蝕性氣體(tǐ)和磨料顆粒(li)；

3、對于除(chú)半導體工藝(yi)外的一些會(hui)産生顆粒的(de)工藝🏃🏻‍♂️，預計🏃‍♂️顆(ke)粒不㊙️會混入(rù) XD系(xì)列真空泵 的泵(bèng)油中，預計顆(ke)粒會從泵中(zhōng)排出，某種類(lèi)型的幹♍式機(jī)械🥰真空泵可(ke)以滿足要求(qiú)；

4、在化工(gong)、醫藥、食品行(hang)業的蒸餾、幹(gan)燥、脫氣、包裝(zhuang)等過程中，應(ying)🐆防止有機溶(rong)劑造成污染(rǎn)，宜選用 XD系列真(zhēn)空泵 ；

5、 XD系列真(zhen)空泵 用作一般(ban)無油清潔真(zhēn)空系統的前(qián)級泵，防止油(yóu)污。